* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки
Глава
VIL Химическая
а физическая- -обработка стекла
803
Мойка и протирка поверхности стекла
Укрепление стеклэ на каретке
Ввод каретки со стеклом в электронагреватель ную печь
Нагрев стекла в электропечи
Вывод каретки со стеклам из электропечи
Ввод каретки со стеклом в камеру обработки и нанесение электропроводящей пленки 4 Закалка стекла с пленкой воздухом или отжиг в отжигательной печи
Небольшие добавки и примеси могут резко изменить электриче ские свойства полупроводниковых пленок, создавая в них эффекты электронного взаимодействия между центрами дефектов структуры. Например, введение некоторых солей элементов пятой группы пери одической системы (азота, фосфора, сурьмы) в пленкообразующий раствор четыреххлористого олова вызывает понижение удельного сопротивления окисно-оловянных покрытий. Оптимальное количест во добавок устанавливается опытным путем. В табл. 139 даны некоторые составы пленкообразующих рас творов. Таблица Составы некоторых пленкообразующих растворов
SnCl -5Н,0 в вес. ч.
4
139
Вода в вес. ч. 7
—
Спирт C H OH в вес. ч.
1 1
SbCl в вес. ч.
3
NH F в вес. ч.
4
Солянокислый фенилгидрозин N H HCl в вес. ч.
i 1
3 10 10 10
51*
.
10
—
—*
-
0,2
— —
0,1
—
_
2,5 0,1
10 10
0,43