* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

20.2. Датчики геометрических параметров 481 лизация а м п л и т у д н о г о и фазового м е т о д о в в о з м о ж н а и при и з м е р е н и я х параметров отраженной в о л н ы , при н о р м а л ь н о м или н а к л о н н о м падении в о л н ы на материал или п о к р ы т и е . При э т о м д л я их з о н д и р о в а н и я и п р и е м а о т р а ж е н ­ н ы х волн м о ж н о использовать к а к р а з д е л ь н ы е а н т е н н ы , т а к и одну п р и е м о - п е редающую антенну. Геометрический метод о с н о в а н н а з о н д и р о в а н и и п л о с к о г о слоя к о н т р о л и ­ р у е м о г о м а т е р и а л а или п о к р ы т и я э л е к т р о м а г н и т н ы м лучом под н е к о т о р ы м уг­ лом 6 к н о р м а л и к поверхности слоя (рис. 20.2, а ) и определении р а с с т о я н и я а м е ж д у т о ч к а м и входа и в ы х о д а луча, т.е. м е ж д у л у ч о м 1, о т р а ж е н н ы м от перед­ ней поверхности с л о я , и лучом 2, о т р а ж е н н ы м от задней поверхности слоя. Т о л щ и н а слоя есть d = a sin 29. Этот м е т о д м о ж н о использовать т а к ж е в р е ж и м е « н а п р о х о ж д е н и е » (рис. 20.2, б). П р о в о д я и з м е р е н и я по д в у х к а н а л ь н о й с х е м е , в ы б р а в р а з н ы е у г л ы 6j и 6 з о н д и р о в а н и я с л о я , м о ж н о обес­ печить и н в а р и а н т н о с т ь результата и з м е р е н и я т о л щ и н ы к в е л и ч и н е в ; д л я этого достаточно в ы п о л н и т ь н е с л о ж н о е с о в м е с т н о е п р е о б р а з о в а н и е с о о т н о ш е н и я указанного вида, записанного для углов 6 и 6 . 2 1 2 а) Рис. 20.2. Схема для реализации геометрического метода измерения толщины слоя Интерференционный (амплитудно-фазовый) м е т о д базируется на наличии ф у н к ц и о н а л ь н о й с в я з и м е ж д у к о э ф ф и ц и е н т о м о т р а ж е н и я от диэлектрическо¬ го слоя и его т о л щ и н о й [5]. И з м е н е н и е к о э ф ф и ц и е н т а о т р а ж е н и я о б ы ч н о кон¬ тролируется с п о м о щ ь ю в в е д е н и я д о п о л н и т е л ь н о г о опорного к а н а л а , работаю¬ щего на той ж е д л и н е в о л н ы . Метод переменной частоты (частотно-фазовый метод) предполагает з о н д и ­ р о в а н и е объекта в о л н а м и , м о д у л и р о в а н н ы м и по частоте. И з м е н я я частоту ге¬ нератора и р е г и с т р и р у я з н а ч е н и я ч а с т о т ы , с о о т в е т с т в у ю щ и е э к с т р е м а л ь н ы м з н а ч е н и я м о т р а ж е н н о г о от д и э л е к т р и ч е с к о г о слоя с и г н а л а , м о ж н о определить т о л щ и н у d с л о я [5]: d = c /[4Л/Б( f\ - f ) ] , г д е f и f — ч а с т о т ы , с о о т в е т с т в у ю ­ щие д в у м с о с е д н и м о т р а ж е н н ы м от слоя с и г н а л а м ; е — д и э л е к т р и ч е с к а я п р о ­ н и ц а е м о с т ь м а т е р и а л а с л о я ; с — с к о р о с т ь света. Т о л щ и н о м е р в п р о с т е й ш е м случае с о д е р ж и т С В Ч генератор ч а с т о т н о - м о д у л и р о в а н н ы х к о л е б а н и й , колеба¬ н и я с которого поступают н а передающую антенну. И з л у ч а е м ы е ею в сторону м а т е р и а л а или п о к р ы т и я в о л н ы о т р а ж а ю т с я , поступают н а п р и е м н у ю а н т е н н у , д а л е е на у с и л и т е л ь и преобразователь, в к о т о р о м о п р е д е л я ю т с я f - f и, следо¬ в а т е л ь н о , d. Для измерения толщины диэлектрического покрытия на металлическом или д и э л е к т р и ч е с к о м о с н о в а н и и и м е т а л л и ч е с к о й п л е н к и на д и э л е к т р и ч е с к о м о с н о в а н и и м о ж е т быть использован м е т о д квазиоптической поляриметрии (эл2 2 l 2