* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

липсометрии), р е а л и з у е м ы й в м и л л и м е т р о в о м и с у б м и л л и м е т р о в о м д и а п а з о н а х длин волн [7]. С у щ н о с т ь этого м е т о д а состоит в т о м , ч т о х а р а к т е р поляриза¬ ции о т р а ж е н н о й от г р а н и ц ы раздела д в у х сред в о л н ы з а в и с и т от с в о й с т в гра¬ н и ц ы раздела — от т о л щ и н ы и э л е к т р и ч е с к и х п а р а м е т р о в з о н д и р у е м о г о с л о я , а т а к ж е от с в о й с т в п о д л о ж к и . При н а к л о н н о м п а д е н и и э л е к т р о м а г н и т н о й вол¬ н ы ее составляющие, лежащие в плоскости падения и перпендикулярные к ней, о т р а ж а ю т с я п о - р а з н о м у , и м е ж д у н и м и в о з н и к а е т о т н о с и т е л ь н ы й с д в и г фаз и относительное и з м е н е н и е а м п л и т у д . И з м е р я я отличие п о л я р и з а ц и о н н ы х х а р а к т е р и с т и к (эллиптичности и а з и м у т а ) о т р а ж е н н о й и п а д а ю щ е й волн, мож¬ но определять т о л щ и н у п о к р ы т и я при и з в е с т н ы х э л е к т р о ф и з и ч е с к и х парамет¬ рах этого п о к р ы т и я и п о д л о ж к и . Импульсный метод предполагает н а л и ч и е р а д и о и м п у л ь с о в , о т р а ж е н н ы х от границ с л о я , и и з м е р е н и е и н т е р в а л а в р е м е н и At, н а п р и м е р , м е ж д у максимума¬ м и огибающих р а д и о и м п у л ь с о в , к о т о р ы й д л я однородного с л о я с относитель¬ ной д и э л е к т р и ч е с к о й проницаемостью е определяется соотношением At = 2d Re(Vs) / c [20]. В ы с о к и е точность и ч у в с т в и т е л ь н о с т ь м о г у т обеспечить резонаторные и волноводные т о л щ и н о м е р ы , к о г д а объект р а з м е щ а е т с я в поле резонатора или н а п р а в л я ю щ е й с и с т е м ы [5]. П р и м е н е н и е линий передачи э л е к т р о м а г н и т н о й энергии позволяет в р я д е случаев достаточно просто и с в ы с о к о й точностью и з м е р я т ь т о л щ и н у диэлект¬ рических материалов. В о з м о ж н ы реализации н а основе д л и н н ы х линий и вол¬ новодов р а з н ы х к о н с т р у к ц и й . Н а рис. 20.3 приведена схема фазоизмерительного устройства [5], в которой материал в виде п л е н к и или п л а с т и н ы р а з м е щ е н м е ж д у п р о в о д н и к а м и открытой двухпроводной линии 8. Разность фаз А ц в и з мерительном и опорном к а н а л а х я в л я е т с я функцией толщины. Т а к а я с х е м а по¬ зволяет б е с к о н т а к т н ы м способом определять толщину м а т е р и а л о в , диэлект¬ р и ч е с к а я проницаемость которых л е ж и т в пределах 2 + 40, в д и а п а з о н е 0,025 + 10 м м , причем чувствительность к п о п е р е ч н ы м п е р е м е щ е н и я м материа¬ ла м е ж д у п р о в о д н и к а м и линии имеет д о п у с т и м о м а л у ю величину. П р о в о д н и к и линии могут и м е т ь различную форму: п л о с к у ю , цилиндрическую и д р . Обыч­ но и с п о л ь з у е м ы е частоты д л я т а к и х устройств л е ж а т в пределах 10 + 1000 М Г ц . Э к с п е р и м е н т ы проводились н а т а к и х материалах, к а к органическое с т е к л о , тефлонидр. Рис. 20.3. Схема с двухпроводной линией, применяемой для измерения толщины ди­ электрика: 1 — ВЧ генератор; 2 — делитель мощности; 3 и 4 — измерительный и опор­ ный каналы; 5 — коаксиальные линии пере­ дачи; 6 и 9 — симметрирующие устройства; 7 — контролируемый материал; 8 — откры­ тая двухпроводная линия; 10 — векторный вольтметр Д л я и з м е р е н и я т о л щ и н ы используются т а к ж е а в т о г е н е р а т о р н ы е у с т р о й с т в а с р а з л и ч н ы м и т и п а м и д а т ч и к о в н а о с н о в е д и п о л ь н ы х а н т е н н , о т р е з к о в длин¬ н ы х л и н и й и д р . [13]. Т а к и е т о л щ и н о м е р ы п р и м е н я ю т с я , в ч а с т н о с т и , в гор¬ н о м д е л е д л я и з м е р е н и я т о л щ и н ы угольной п а ч к и с целью у п р а в л е н и я д в и ж е -