* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

11.2. Терморезистивные преобразователи температуры Т К С и е г о стабильность в з а в и с и м о с т и от длительности р а б о т ы определя¬ ются п р е и м у щ е с т в е н н о м а т е р и а л о м терморезистора и у с л о в и я м и е г о осажде¬ н и я . Д л я б о л ь ш и н с т в а ч и с т ы х м е т а л л о в Т К С л е ж и т в пределах (3...7) 10 1/°С. На п р а к т и к е ш и р о к о используют м е т а л л о п л е н о ч н ы е т е р м о р е з и с т о р ы и з пла¬ т и н ы , м е д и и н и к е л я . Они и м е ю т н а и л у ч ш у ю стабильность, н е ч у в с т в и т е л ь н ы к д а в л е н и ю , в л а ж н о с т и , м а г н и т н о м у полю. Т е м п е р а т у р н ы й к о э ф ф и ц и е н т с о п р о т и в л е н и я т о н к о п л е н о ч н ы х терморези¬ сторов м е н ь ш е , а т е м п е р а т у р н ы й д и а п а з о н у ж е , ч е м в с о о т в е т с т в у ю щ и х прово¬ лочных. П р и ч и н о й т а к о г о о г р а н и ч е н и я я в л я е т с я р а з н и ц а в з н а ч е н и я х темпера¬ турного к о э ф ф и ц и е н т а л и н е й н о г о р а с ш и р е н и я о с н о в ы и м е т а л л и ч е с к о й плен¬ к и , к о т о р а я в ы з ы в а е т п л а с т и ч е с к у ю д е ф о р м а ц и ю п л е н к и при д о с т а т о ч н о стре¬ мительном повышении или снижении температуры. Во и з б е ж а н и е этого н е ж е л а т е л ь н о г о я в л е н и я используют м н о г о с л о й н ы е с т р у к т у р ы , к о т о р ы е с о д е р ж а т , к р о м е т е р м о ч у в с т в и т е л ь н о г о , е щ е и р я д проме¬ ж у т о ч н ы х с л о е в , к о т о р ы е обеспечивают к р е п к и й м е х а н и ч е с к и й к о н т а к т . Д л я стабилизации э л е к т р о ф и з и ч е с к и х с в о й с т в п л е н о ч н ы х т е р м о р е з и с т о р о в осуще¬ ствляют т е р м и ч е с к о е с т а р е н и е в в а к у у м е в у с л о в и я х ц и к л и ч е с к о г о и з м е н е н и я температуры. К а к материал пленочных терморезисторов часто применяют сплавы Ni-Fe и N i - C o . Н а п р и м е р , п е р м а л л о й ( N i 80% — Fe 20%) и м е е т т е м п е р а т у р н ы й ко¬ эффициент с о п р о т и в л е н и я почти т а к о й ж е , к а к у п л а т и н ы , его м а к с и м а л ь н о е з н а ч е н и е н а б л ю д а е т с я при т о л щ и н а х п л е н к и от 80 д о 160 н м , а у п л а т и н ы — при 350 н м . С о о т в е т с т в е н н о , и с п о л ь з о в а н и е п е р м а л л о я в м е с т о п л а т и н ы дает в о з м о ж н о с т ь с у щ е с т в е н н о у м е н ь ш и т ь п л о щ а д ь терморезистора. Полупроводниковые терморезистивные преобразователи. В настоящее время ш и р о к о используются п о л у п р о в о д н и к о в ы е т е р м о р е з и с т и в н ы е преобразователи т е м п е р а т у р ы [2, 4-7, 12-15]. П р е и м у щ е с т в а м и п о л у п р о в о д н и к о в ы х термопре¬ образователей я в л я ю т с я и х м а л ы е г а б а р и т ы , н е з н а ч и т е л ь н а я и н е р ц и о н н о с т ь . О д н а к о о н и у с т у п а ю т п р о в о д н и к о в ы м в точности. С у щ е с т у ю т д в е г р у п п ы по¬ л у п р о в о д н и к о в ы х терморезисторов: с отрицательным температурным коэффи­ циентом сопротивления (термисторы NTC) и с положительным ТКС (позисторы, РТС). В о с н о в н о м и с п о л ь з у ю т с я т е р м о р е з и с т о р ы с о т р и ц а т е л ь н ы м Т К С , з н а ч е н и е которого м о ж е т р а в н я т ь с я (2...6) % /К. Термисторы. Т е р м и с т о р ы и з г о т о в л я ю т с я и з п о р о ш к о в о к и с л о в M n , Fe, N i , Cu, T i , Z n , Co. П о с л е тепловой обработки и с т а р е н и я т е р м и с т о р ы металлизи¬ руются н а поверхности, создаются с о п р о т и в л е н и я , н а п а и в а ю т с я металличе¬ с к и е в ы в о д ы , и в с я к о н с т р у к ц и я ф и к с и р у е т с я п л а с т м а с с о й или с т е к л о м . П р и т е м п е р а т у р е 20 ° С с о п р о т и в л е н и е т е р м и с т о р о в с о с т а в л я е т от н е с к о л ь к и х к О м до приблизительно 40 М О м . В о з м о ж н о с т ь с о з д а н и я т е р м о р е з и с т о р о в очень м а л ы х р а з м е р о в позволяет у м е н ь ш и т ь в л и я н и е т е р м о п р е о б р а з о в а т е л я н а т е м п е р а т у р н о е поле исследуемо¬ го объекта, у л у ч ш и т ь д и н а м и ч е с к и е х а р а к т е р и с т и к и процесса и з м е р е н и я . Гра¬ н и ц ы стабильной р а б о т ы п о л у п р о в о д н и к о в ы х т е р м и с т о р о в н а х о д я т с я в диапа¬ зоне (-100 ... +400) С , о т н о с и т е л ь н а я п о г р е ш н о с т ь с о с т а в л я е т (0,2 ... 1,0)% от д и а п а з о н а преобразований. К р о м е м а л ы х г а б а р и т о в п о л у п р о в о д н и к о в ы е т е р м и с т о р ы отличаются от м е т а л л и ч е с к и х термопреобразователей в ы с о к о й ч у в с т в и т е л ь н о с т ь ю ( в ы с о к и м -6 0