* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

l4 а) A J б) Рис. 11.2. Разновидности промышленных терморезистивных датчиков темпера­ туры К р о м е п о г р у ж а е м ы х в ы п у с к а ю т с я т а к ж е т е р м о р е з и с т и в н ы е преобразовате¬ ли т е м п е р а т у р ы с п е ц и а л ь н о г о н а з н а ч е н и я , н а п р и м е р , д л я и з м е р е н и я темпера¬ т у р ы о б о р о т н ы х поверхностей и д р . [8]. Металлопленочные терморезисторы. И с п о л ь з о в а н и е тонкопленочной техно¬ логии в п р о и з в о д с т в е т е р м о р е з и с т о р о в о т к р ы в а е т н о в ы е в о з м о ж н о с т и , позво¬ л я е т получить р а з н ы е п л е н о ч н ы е м а т е р и а л ы с з а д а н н ы м и с в о й с т в а м и , упро¬ щ а е т т е х н о л о г и ю и з г о т о в л е н и я т е р м о п р е о б р а з о в а т е л е й н а и х о с н о в е . Напыле¬ н и е в в а к у у м е п о з в о л я е т получить п л е н о ч н ы е с т р у к т у р ы металл—диэлект¬ рик—металл непосредственно на измеряемой поверхности, которая уменьшает п о г р е ш н о с т ь и з м е р е н и й и з - з а н е с о в е р ш е н с т в а т е п л о в о г о к о н т а к т а чувстви¬ тельного элемента с поверхностью, температуру которой измеряют. В табл. 11.3 п р и в е д е н ы о с н о в н ы е х а р а к т е р и с т и к и н е к о т о р ы х м е т а л л о п л е н о ч н ы х т е р м о р е з и с т о р о в [11]. Таблица 11.3. Основные характеристики металлопленочных терморезисторов Материал терморезис­ тора Удельное сопро­ Температурный коэффициент тивления, Ом-см сопротивления, 1/°С Температурный диапазон, °С Подкладка Медь Хром Молибден Платина Никель Ni—Fe Висмут* 1,72-10 12,9 10 5,7-10 10,6-10 7,24-10 —6 4,3-10 3,4-10 3,0-10 3,3-10 4,4-10 3,8-10 4,7-10 —6 —6 —50...+200 30...+150 —200...+200 —60...+350 ВСС SiO2 керамика корунд, стекло, керамика Si N , SiO 3 4 2 —6 —6 —6 —6 —6 —6 —6 —6 35,0-10 —6 —6 —6 0...—100 SiO2 SiO—Al O 2 3 *На основании пленок висмута созданы металлопленочные терморезисторы с отрица­ тельным значением ТКС = -(2,8...3,0)-10 1/°С в интервале температур (0...100) °С.