
* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки
ОСНОВЫ ТЕХНИЧЕСКИХ И З М Е Р Е Н И Я B МАШИНОСТРОЕНИИ 21 модели) или до 50 мм (у малой модели). Углы измеряются с помощью угломер ного микроскопа с ценой деления Г по градусной шкале, нанесенной на пе риферии прозрачного диска с визир ной сеткой. Предметный стол микроскопа большой модели может поворачиваться на 360°. У гл ы поворота стол а отсч и тываются по шкале с нониусом, вели чина отсчета которого составляет 3'. Микроскопы оснащаются съемными цен трами, призмами, струбцинами для уста новки объектов контроля. Интерферометры. Интерференционные методы измерений применяются для весьма точной проверки плоскостно сти доведенных поверхностей металлов, стекла н других материалов, а также для проверки плоскопараллельности и срединного размера концевых мер дли ны (плиток). Различают абсолютный, сравнительный и технический интер ференционные методы. Первый метод используется при измерениях с по мощью бесконтактных интерферометров, второй — при измерениях на бескон тактных и контактных интерфероме трах, третий — при измерениях посред ством плоских оптических пластин. Все три метода основаны на измерении непосредственно в длинах световой волны. Абсолютный интерферен ц и о н н ы й м е т о д . Бесконтактный интерферометр представлен на фиг. 26. Пучок света от разрядной трубки / Фиг. 26. проходит сквозь щель, помещенную в фокусе линзы 2, падает параллель ным пучком на грань призмы 3 и рас пространяется далее в вертикальном направлении. Попадая на наклонную пластину 4, полупосеребренную на верх ней поверхности, пучок света разде ляется на две части: одна часть напра вляется вертикально и падает на квар цевую пластину 5 и свободную изме рительную поверхность притертой к ней проверяемой плитки 6; другая часть пучка отражается в горизонтальном на правлении и падает на зеркало 7. Вер тикальный пучок света, отразившись частично от кварцевой пластины и ча стично от свободной поверхности плитки, падает снова на пластину 4 и направ ляется — так же, как и пучок света, отра женный зеркалом 7, — горизонтально влево. Соединенные пучки проходят сквозь линзу 8 и собираются в ее фо кусе Р. Регулируя углы наклона стола, на котором помещена пластина 5, можно заставить отраженные пучки света интерферировать, и глаз, помещенный в точке 9 увидит поверхность плитки и поверхность кварцевой пластины пере сеченными рядом равноотстоящих па раллельных интерференционных полос. Полосы на поверхности плитки можно рассматривать как образовавшиеся в ре зультате интерференции двух пучков света: одного — отраженного от зер кала 7 и другого — отраженного от по верхности плитки 6. Полосы на по верхности кварцевой пластины рассма триваются как образовавшиеся в ре зультате интерференции пучков света: отраженного от поверхности кварцевой пластины 5 и отра женного от зерка ла 7. Величина сме щения е интер ференционных по лос на поверхно сти плитки отно сительно полос на кварцевой пластине выражает дробную долюобщего количест ва длин полуволн света, заклю чающихся в длине плитки. Для определения полного (целого и дробного) количе ства длин полуволн, заключающихся в длине плитки, По ступают следующим образомГ Измеряют пл,итку -цредваритёлыю более ТРУбым спосо бом (например, относительным мето дом на оптиметре с точностью'± 1 Затем на интерферометре определяй?* % 1