* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

с? Глава 21. Электрохимические и биохимические датчики 21.7. Э л е к т р о х и м и ч е с к и е п о л е в ы е т р а н з и с т о р ы Т а к и е д а т ч и к и п р е д с т а в л я ю т собой п о л е в о й т р а н з и с т о р с и з о л и р о в а н н ы м з а ­ т в о р о м , н а к о т о р ы й н а н о с и т с я один и л и н е с к о л ь к о с л о е в с п е ц и а л ь н ы х п о к р ы ­ тий [10, 12]. Один и з с л о е в п р е д с т а в л я е т э л е к т р о х и м и ч е с к и й р е а г е н т , с п о с о б н ы й изби­ рательно р е а г и р о в а т ь н а о п р е д е л е н н о е э л е к т р о х и м и ч е с к о е в е щ е с т в о , ч т о при­ водит к и з м е н е н и ю с в о й с т в а затвора и , к а к с л е д с т в и е , п р о в о д и м о с т и м е ж д у стоком и истоком. П р и м е р т а к о г о д а т ч и к а п о к а з а н н а рис. 21.12. По с у щ е с т в у з а д а ч а и з м е р е н и я з а к л ю ч а е т с я в и з м е р е н и и т о к а затвора при п о с т о я н н о м н а п р я ж е н и и н а затворе (21.13, а ) и л и н а п р я ж е н и и н а затворе при п о с т о я н н о м т о к е с т о к а (рис. 21.13, б). Рис. 21.12. Электрохимический полевой транзистор: 1 — кремниевая подложка; 2 — n+ области; 3 — металлические элек­ троды стока и истока; 4 — изолятор (SiC^), 5 — электрохимически чувстви­ тельная мембрана; 6 — анализируемый раствор; 7 — электрод сравнения б) Рис. 21.13. Схемы включения электрохимического полевого транзистора