* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

20.2. Датчики геометрических параметров нения — доли и единицы миллиметров. Известно несколько радиоволновых м е т о д о в и з м е р е н и я т о л щ и н ы м е т а л л и ч е с к и х л и с т о в , о с н о в н ы е и з к о т о р ы х свя¬ з а н ы с п р и м е н е н и е м С В Ч р е з о н а т о р о в п о л у о т к р ы т о г о ( к в а з и з а м к н у т о г о ) типа и излучающих у с т р о й с т в . Р е а л и з а ц и я этих м е т о д о в требует н а л и ч и я д о с т у п а э л е к т р о м а г н и т н о й э н е р г и и к обеим с т о р о н а м м е т а л л и ч е с к о г о листа. Резонаторный метод измерения. П р и р е з о н а т о р н о м м е т о д е и з м е р е н и я при¬ м е н я ю т с я либо д в а н е з а в и с и м ы х резонатора, р а с п о л о ж е н н ы х с противополож¬ н ы х сторон л и с т а и и м е ю щ и х н е з а м к н у т ы е м е т а л л и ч е с к и е полости, у к о т о р ы х о т к р ы т а я область поверхности о б р а щ е н а в сторону л и с т а и н а х о д и т с я вблизи его поверхности, либо один резонатор С-образной ф о р м ы с о т к р ы т ы м и торце¬ в ы м и с т е н к а м и , о б р а щ е н н ы м и к с о о т в е т с т в у ю щ и м сторонам листа и находя¬ щ и м и с я вблизи их поверхностей. Н а р и с . 20.1 и з о б р а ж е н а с х е м а т о л щ и н о м е р а [5], с о д е р ж а щ а я д в а н е з а в и с и м ы х о б ъ е м н ы х резонатора, р а с п о л о ж е н н ы х с п р о т и в о п о л о ж н ы х сторон листа и и м е ю щ и х о т к р ы т ы е т о р ц е в ы е поверхности, н а п р а в л е н н ы е в сторону листа. Г е н е р а т о р ы ч а с т о т н о - м о д у л и р о в а н н ы х к о л е б а ­ ний 3 и 4 в о з б у ж д а ю т к о л е б а н и я в р е з о н а т о р а х 1 и 2 р е з о н а н с н ы х ч а с т о т , к о т о р ы е и з м е р я ю т с п о м о щ ь ю и з м е р и т е л е й 5 и 6. З н а ч е н и я и з м е р е н н ы х ч а с т о т f и f , н е с у щ и х и н ф о р м а ц и ю о р а с с т о я н и я х x и x р е з о н а т о р о в до соответствую­ щих поверхностей листа 7, поступают на у с т р о й с т в о 8, где в ы ч и с л я е т с я тол­ щ и н а л и с т а d = 1 - Х\ - х ; здесь / — фиксированное расстояние между открытыми торцами резонаторов. Р е з о н а н с н а я ч а с т о т а f к а ж д о г о тако¬ го резонатора с п о д в и ж н о й с т е н к о й является функцией расстояния x м е ж д у о т к р ы т ы м т о р ц о м резонатора и соответствующей поверхностью листа. Д л я п о л у ч е н и я в ы с о к о й доб¬ ротности целесообразно в о з б у ж д а т ь Рис. 20.1. Схема толщиномера с двумя не­ к о л е б а н и я т и п о в , характеризующих¬ зависимыми резонаторами ся о т с у т с т в и е м а к с и а л ь н ы х т о к о в , в частности типов H . К а к п о к а з ы в а е т с р а в н е н и е р а с ч е т о в и результатов э к с п е р и м е н т о в , м н о г и е х а р а к т е р и с т и к и т а к и х п о л у о т к р ы т ы х р е з о н а т о р о в могут быть д о с т а т о ч н о точно о п и с а н ы с о о т в е т с т в у ю щ и м и ф о р м у л а м и д л я з а к р ы т ы х (без зазора) резонато¬ ров. Д л я к о л е б а н и й т и п а H ц и л и н д р и ч е с к о г о резонатора р е з о н а н с н а я (соб­ с т в е н н а я ) частота есть f = с^/(% / л ) + [pR / ( l + x ) ] / 2л/ЁЛ,где с — 2 1 2 2 0 1 p 0 1 p 1 2 01 2 1 2 2 скорость с в е т а ; е — д и э л е к т р и ч е с к а я п р о н и ц а е м о с т ь с р е д ы в полом резонаторе и в п р о с т р а н с т в е м е ж д у его торцом и поверхностью к о н т р о л и р у е м о г о листа; р = 1 , 2 , . . . ; R и l — р а д и у с и д л и н а резонатора; ч = 3,832 — п е р в ы й к о р е н ь х а р а к т е р и с т и ч е с к о г о у р а в н е н и я д л я производной ф у н к ц и и Бесселя н у л е в о г о п о р я д к а . В о з б у ж д е н и е и съем к о л е б а н и й в резонаторах, и з м е р е н и е их резонан¬ с н ы х частот м о ж н о о с у щ е с т в и т ь и з в е с т н ы м и м е т о д а м и на о с н о в е р а з л и ч н ы х схем в к л ю ч е н и я р е з о н а т о р о в , в т о м ч и с л е а в т о г е н е р а т о р н ы х схем. Датчики толщины диэлектрических материалов и покрытий. Р а д и о в о л н о в а я т о л щ и н о м е т р и я д и э л е к т р и к о в играет в а ж н у ю роль во м н о г и х т е х н о л о г и ч е с к и х 0 1