* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

Глава 13. Датчики вибраций Рис. 13.42. Трехкоординатный пьезоэлектрический акселерометр: а — конструкция акселерометра, б — конструкция чувствительного элемента: 1, 4, 7 — основание; 2, 5, 8 — пьезоэлементы; 3,6,9 — инерционные массы Рис. 13.43. Диаграмма направленности разработанного акселерометра Литература 1. Аллавердиев А.М., Ахмедов Н.Б. Физика микроэлектронных приборов // МИЭТ. — М., 1984. — С. 29. 2. А.с. 361723 СССР, М К И G01P15/08. Пьезоэлектрический акселерометр / Крамар о в О . П . и д р . , 1975. 3. А.с. 472587 СССР, М К И G01P15/08. Пьезоэлектрический акселерометр / Янчич В.В., Крамаров О.П., 1976. 4. А.с. 1357723 СССР, М К И G01P15/08. Датчик вибраций / Расторгуев Д.Л. и др. Открытия. Изобретения. 1986. — № 12. 5. А.с. 487312 СССР, М К И G01P15/08. Датчик вибраций / Расторгуев Д.Л. и др. Открытия. Изобретения. 1986. — № 12. 6. А.с. 634493 СССР, М К И G01P15/08. Пьезоэлектрический виброизмерительный преобразователь / Цеханский К.Р., Макеев В.М. Открытия. Изобретения. 1978. — № 43. 7. Гевондян Т.А., Киселев Л.Т. Приборы для измерения и регистрации колебаний. — М.: Машгиз, 1962. — 467 с. 8. Голицын Б.Б. Избранные труды. Т. 2: Сейсмология. — М.: АН СССР, 1960. 9. Джагупов Р.Г., Ерофеев А.А., Пьезоэлектронные устройства вычислительной техни­ ки, систем контроля и управления: Справочник. — СПб.: Политехника, 1994. 10. Измерения параметров вибрации и удара / В.С. Шкаликов, В.С. Пеллинец (ред.), Е.Г. Исакович, Н.Я. Цыган. — М.: Изд. стандартов, 1980. — 280 с. 11. Иориш Ю.И. Виброметрия. — М.: Машгиз, 1963. 12. Кажис Р.Й. Ультразвуковые информационно- измерительные системы. — Вильнюс: Мокслас, 1986. 13. Кудряшов Э.А., Магер В.Е., Рафиков Ш.М. Пьезоэлементы для датчиков силы и давления // Приборы и системы управления, — 1989. — № 9. 14. Левшина Е.С., Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин. Из­ мерительные преобразователи. — Л.: Энергоатомиздат, 1983. — 320 с. 15. Нуберт Г.П. Измерительные преобразователи неэлектрических величин: Пер. с англ. — Л.: Энергия, 1970. — 360 с.