* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

12.3. Датчики давления и разницы давлений И з м е р и т е л ь н ы й отражатель 3 интерферометра в м о н т и р о в а н в пластину 2, потому он м о ж е т д в и г а т ь с я под д е й с т в и е м н а г р у з к и 1. Опорный отражатель 4 я в л я е т с я н е п о д в и ж н ы м . И с т о ч н и к о м м о н о х р о м а т и ч е с к о г о излучения служит лазер 5. Его световой п о т о к р а с щ е п л я е т с я п о л у п р о з р а ч н ы м з е р к а л о м 6 н а д в е части, к а ж д а я и з к о т о р ы х н а п р а в л я е т с я к отражателю 3 и 4 соответственно. Ре¬ зультирующее излучение в о с п р и н и м а е т с я п р и е м н и к о м 7. Следовательно, под д е й с т в и е м м а с с ы т п р у ж и н а 2 в т о ч к е ее п р и л о ж е н и я и с п ы т ы в а е т с м е щ е н и е l , которое в м е с т е у с т а н о в л е н и я отражателя 3 пропорционально отношению L / L расстояний от точки п р и л о ж е н и я м а с с ы д о точки з а к р е п л е н и я п л а с т и н ы L и о т точки у с т а н о в л е н и я отражателя д о точки з а к р е п л е н и я п л а с т и н ы L [12]. Э т о , в с в о ю очередь, создает о т л и ч и е Ad м е ж д у п у т я м и п р о х о ж д е н и я лу¬ чей — о п о р н о г о и и з м е р и т е л ь н о г о , а с л е д о в а т е л ь н о , и з м е н е н и е ф а з ы колеба¬ ний с в е т о в о г о луча. В у с т р о й с т в е обработки с и г н а л о в о п т и ч е с к и е с и г н а л ы с п о м о щ ь ю фотоди¬ одов преобразуются в э л е к т р и ч е с к и е , у с и л и в а ю т с я , преобразуются в цифровую форму. Цифровой фильтр в ы д е л я е т и н ф о р м а т и в н ы й п а р а м е т р с и г н а л а . После д е м о д у л и р о в а н и я в отсчетном у с т р о й с т в е п о л у ч а е м п о к а з а н и е , которое отвеча¬ ет в з в е ш е н н о й м а с с е . М и к р о к о н т р о л л е р обеспечивает с о о т в е т с т в у ю щ е е м а с ш т а б и р о в а н и е и кор¬ р е к ц и ю и з м е р и т е л ь н о й информации. Н е д о с т а т к о м э т и х в е с о в я в л я е т с я их чув¬ ствительность к м е х а н и ч е с к и м в и б р а ц и я м , в л и я н и е к о т о р ы х н е с к о л ь к о умень¬ ш а е т с я благодаря и с п о л ь з о в а н и ю цифрового фильтрования [12]. n b n n b 12.3. Датчики давления и разницы давлений 10 Ш и р о к и й д и а п а з о н и з м е р я е м ы х д а в л е н и й — от ч а с т и ц П а д о почти 10 П а обусловил и большое р а з н о о б р а з и е м е т о д о в и с р е д с т в их и з м е р е н и й . Значите¬ льная часть методов основана на предварительном преобразовании давления в м е х а н и ч е с к о е н а п р я ж е н и е , д е ф о р м а ц и ю или п е р е м е щ е н и е , с п о м о щ ь ю упру¬ гих п р е о б р а з о в а т е л ь н ы х э л е м е н т о в с п о с л е д у ю щ и м и з м е р е н и е м м е х а н и ч е с к о г о н а п р я ж е н и я , д е ф о р м а ц и и или п е р е м е щ е н и я . В д р у г и х средствах и с п о л ь з у ю т с я ф и з и ч е с к и е э ф ф е к т ы , к о т о р ы е д а ю т в о з м о ж н о с т ь н е п о с р е д с т в е н н о преобразо¬ вывать измеряемое давление в электрическую величину, например, в заряд, к а к в п ь е з о э л е к т р и ч е с к и х м а н о м е т р а х , или в и з м е н е н и е исходного электриче¬ ского с о п р о т и в л е н и я в результате барического тензоэффекта [ 11—13]. В з а в и с и м о с т и от х а р а к т е р а и з н а ч е н и я и з м е р я е м о г о д а в л е н и я в с е п р и б о р ы для измерения давления с общим названием манометры разделяются на такие группы: • б а р о м е т р ы — п р и б о р ы , к о т о р ы е п р е д н а з н а ч е н ы д л я и з м е р е н и й атмо¬ сферного д а в л е н и я ; • м а н о м е т р ы избыточного давления — п р и б о р ы , к о т о р ы е п р е д н а з н а ч е н ы для измерений давления в ы ш е атмосферного, а фактически — разницы между абсолютным и атмосферным давлениями; • вакуумметры — приборы, предназначенные для измерений давления ниже атмосферного;