* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

9.3. Классификация пьезоэлектрических датчиков Новые сополимеры П В Д Ф , разработанные в последние годы, нашли широкое применение в пьезоэлектрических полимерных датчиках. Такие сополимеры используются при более в ы с о к и х т е м п е р а т у р а х (135 ° С ) , и из н и х м о ж н о полу¬ ч а т ь н о в ы е ф о р м ы д а т ч и к о в : ц и л и н д р и ч е с к и е и полусферические. И з н и х м о ж н о и з г о т а в л и в а т ь с е н с о р ы , т о л щ и н а к о т о р ы х п р е в ы ш а е т п р е д е л ь н ы е зна¬ чения для устройств на основе П В Д Ф пленок: например, кремниевые датчики с у л ь т р а т о л с т ы м (200 А ) п о к р ы т и е м и г и д р о л о к а т о р ы с ц и л и н д р о м , т о л щ и н а с т е н о к которого п р е в ы ш а е т 1200 м к м . П ь е з о э л е к т р и ч е с к и е к а б е л и т а к ж е реа¬ лизуют и з с о п о л и м е р о в . В отличие от п ь е з о к е р а м и ч е с к и х преобразователей д а т ч и к и н а о с н о в е пье¬ з о э л е к т р и ч е с к и х п л е н о к обладают более ш и р о к и м и д и н а м и ч е с к и м и частот¬ н ы м д и а п а з о н а м и . Ш и р о к а я полоса частот ( п р а к т и ч е с к и от 0 д о 2 Г Г ц ) и н и з ­ к а я добротность м о г у т быть о б ъ я с н е н ы м я г к о с т ь ю , п р и с у щ е й п о л и м е р а м . Та¬ к и е д а т ч и к и н а ш л и ш и р о к о е п р и м е н е н и е в у л ь т р а з в у к о в о й т е х н и к е , работаю¬ щей н а ч а с т о т а х д о 50 к Г ц . При и с п о л ь з о в а н и и в у л ь т р а з в у к о в ы х п е р е д а т ч и к а х (частота более 500 к Г ц ) частота п ь е з о д а т ч и к о в о п р е д е л я е т с я к о э ф ф и ц и е н т о м d . М а к с и м а л ь н ы й к о э ф ф и ц и е н т передачи д о с т и г а е т с я н а ч а с т о т е р е з о н а н с а по толщине. Основной п о л у в о л н о в о й р е з о н а н с пленочного пьезоэлектриче¬ ского сенсора т о л щ и н о й 28 м к м н а с т у п а е т н а частоте п о р я д к а 40 М Г ц . Часто¬ та р е з о н а н с а в с е г д а з а в и с и т от т о л щ и н ы п л е н к и : о н а м е н я е т с я от е д и н и ц М Г ц д л я т о л с т ы х п л е н о к ( « 1 0 0 0 м к м ) д о > 100 М Г ц д л я т о н к и х п л е н о к (поряд¬ ка мкм). Д а т ч и к и н а п ь е з о э л е к т р и ч е с к и х п л е н к а х и м е ю т и р я д н е д о с т а т к о в . Они обладают д о в о л ь н о с л а б ы м э л е к т р о м е х а н и ч е с к и м к о э ф ф и ц и е н т о м с в я з и по с р а в н е н и ю с п ь е з о к е р а м и ч е с к и м и с е н с о р а м и , особенно н а частоте р е з о н а н с а и н а н и з к и х частотах. П л е н к и и з с о п о л и м е р о в м о г у т и с п о л ь з о в а т ь с я и х р а н и т ь с я при т е м п е р а т у р а х , н е п р е в ы ш а ю щ и х 135 ° С , a П В Д Ф п л е н к и р е к о м е н д у е т с я использовать при т е м п е р а т у р а х д о 100 °С. Т о н к и е п л е н к и и з Ц Т С обладают б о л ь ш и м п ь е з о э л е к т р и ч е с к и м м о д у л е м , ч е м A 1 N и Z n O , что д е л а е т их п е р с п е к т и в н ы м и д л я и с п о л ь з о в а н и я в детекто¬ рах теплового излучения. Д л я ф о р м и р о в а н и я с л о е в и з Ц Т С с у щ е с т в у е т боль¬ ш о е к о л и ч е с т в о м е т о д о в , среди к о т о р ы х м о ж н о н а з в а т ь э л е к т р о л у ч е в о е распы¬ л е н и е , р а д и о ч а с т о т н о е н а п ы л е н и е , и о н н о е о с а ж д е н и е , э п и т а к с и а л ь н о е выра¬ щ и в а н и е , м а г н е т р о н н о е н а п ы л е н и е , л а з е р н о е р а с п ы л е н и е и з о л ь - г е л е в а я тех¬ н о л о г и я [16]. 3 3 9.3. Классификация пьезоэлектрических датчиков П ь е з о э л е к т р и ч е с к и е д а т ч и к и м о ж н о разделить н а д в а к р у п н ы х к л а с с а в зави¬ с и м о с т и от ф и з и ч е с к и х э ф ф е к т о в , л е ж а щ и х в их о с н о в е [19]. К п е р в о м у к л а с с у о т н о с я т с я д а т ч и к и , и с п о л ь з у ю щ и е п р я м о й пьезоэффект. Они используются д л я и з м е р е н и я л и н е й н ы х и в и б р а ц и о н н ы х у с к о р е н и й , ди¬ намических и квазистатических давлений и усилий, параметров звуковых и у л ь т р а з в у к о в ы х полей и др. К о второму, н е м е н е е о б ш и р н о м у к л а с с у , о т н о с я т с я т а к н а з ы в а е м ы е резо¬ н а н с н ы е п ь е з о д а т ч и к и [12, 19]. В их о с н о в е м о ж е т л е ж а т ь о б р а т н ы й п ь е з о -