* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

8.2. Емкостные датчики давления м ы м э л е к т р о д о м и е м к о с т ь ю С между мембранным и компенсирующим элек­ т р о д а м и , то есть при С + А С будем и м е т ь С — А С . Н а л и ч и е к о м п е н с и р у ю щ е г о э л е к т р о д а п о з в о л я е т при д и ф ф е р е н ц и а л ь н о м в к л ю ч е н и и С и С и с к л ю ч а т ь в л и я н и е о к р у ж а ю щ е й с р е д ы н а р е з у л ь т а т ы из¬ м е р е н и й , в ч а с т н о с т и в л и я н и е и з м е н е н и я т е м п е р а т у р ы (что п р и в о д и т хотя бы к незначительным изменениям геометрических размеров), влияние изменения относительной д и э л е к т р и ч е с к о й п р о н и ц а е м о с т и с р е д ы и др. Д а т ч и к и т и п а CERABAR в ы п у с к а ю т с я к а к д а т ч и к и абсолютного д а в л е н и я (рис. 8.6, а ) и к а к д а т ч и к и относительного д а в л е н и я (рис. 8.6, б ) . Конструк¬ т и в н о они почти н е отличаются за и с к л ю ч е н и е м о т в е р с т и я в о с н о в е к о р п у с а д а т ч и к а относительного д а в л е н и я , к о т о р о е с о е д и н я е т м е ж э л е к т р о д н у ю к а м е р у с атмосферой, о б е с п е ч и в а я в к а м е р е а т м о с ф е р н о е д а в л е н и е . Т а к о г о отверстия в д а т ч и к а х абсолютного д а в л е н и я нет, а в м е ж э л е к т р о д н о м п р о с т р а н с т в е дат¬ ч и к а создают в а к у у м . К Р Р К К Р К Рис. 8.6. К принципу действия датчиков абсолютного и относительного давлений Н о м и н а л ь н ы е з н а ч е н и я и з м е р я е м ы х д а в л е н и й д а н н ы х преобразователей н а х о д я т с я в г р а н и ц а х от 40 м и л л и б а р ( 4 к П а ) д о 10 бар ( 1 М П а ) , погрешность п р е о б р а з о в а н и я м е н ь ш е , ч е м 0,1% от д и а п а з о н а и з м е р е н и й , в р е м е н н а я неста­ бильность н е п р е в ы ш а е т 0,01% за год, н е л и н е й н о с т ь ф у н к ц и и п р е о б р а з о в а н и я < 02%, т е м п е р а т у р н а я п о г р е ш н о с т ь < 0,15%/10К, рабочий т е м п е р а т у р н ы й д и а ­ пазон от —20 °С д о +130 °С. Ч у в с т в и т е л ь н ы й э л е м е н т и м е е т г а б а р и т ы : д и а м е т р к о р п у с а 32 м м , т о л щ и н а — 5,1 м м , о д и н а к о в ы е д л я в с е х д и а п а з о н о в измере¬ ний. В з а в и с и м о с т и от д и а п а з о н а и з м е р е н и й м е н я е т с я л и ш ь т о л щ и н а мембра¬ н ы — от 0,03 м м д о 3 м м [18, 20]. На р и с . 8.7 п о к а з а н а к о н с т р у к ц и я чувстви¬ тельного э л е м е н т а д а т ч и к а р а з н и ц ы д а в л е н и й D E L T A B A R [21, 22]. На к е р а м и ч е с к о й о с н о в е 1 э л е м е н т а з а к р е п л е н ы с п о м о щ ь ю к а л е н и я стек¬ л о м д в е т о н к и е к е р а м и ч е с к и е м е м б р а н ы 2 и 3. На поверхности к е р а м и ч е с к о й о с н о в ы э л е м е н т а и на поверхностях мембран, которые находятся одна н а п р о т и в д р у г о й , п у т е м м е т а л л и з а ц и и зо¬ лотом н а н е с е н ы э л е к т р о д ы , о б р а з у ю щ и е кон¬ д е н с а т о р ы С и С . К а м е р ы ( п р о с т р а н с т в о ) меж¬ д у основой э л е м е н т а и м е м б р а н а м и з а п о л н е н ы с и л и к о н о в о й олифой с н е з н а ч и т е л ь н ы м давле¬ н и е м и г и д р а в л и ч е с к и с о е д и н е н ы через отвер¬ Рис. 8.7. Чувствительный эле­ стие в о с н о в а н и и э л е м е н т а . мент датчика DELTABAR 1 2