* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки

КАРУСЕЛЬНЫЕ ПЕЧИ 138 КАРУСЕЛЬНЫЯ ПЕЧЫ – печы з вярча льным подам ці перакрыццем. Могуць працаваць на любым відзе па ліва. Да іх пераваг належаць: магчымасць ап рацоў кі дэта ляў любой формы, высокія ККД і прадук цыйнасць, невя лікія зат раты па ліва і параў на льная прастата абслу гоў вання. Да недахопаў неабходна аднесці высокія капіта льныя зат раты і складанасць прывадных механізмаў. Выкарыстоўваюцца для спякання і тэрмаап рацоў кі парашковых матэры я лаў і вы рабаў. КАТОДНАЕ РАСПЫЛЕННЕ – распы ленне матэры я лу за кошт інтэнсіў най бам бардзіроў кі іона мі інер тнага га зу. Пры гэтым іоны інертнага га зу, напр., аргону, звычайна паскараюцца ў выніку таго, што ўзор, які ўяўляе з сябе крыніцу пат рэбнага матэры я лу, з’яўляецца катодам разра ду, які тлее. Атамы і іоны, выбітыя з паверхні такога катода, дыфунду юць праз га завае асяроддзе і кандэнсуюцца ў выглядзе тонкай плёнкі ці парашку на адпаведнай падложцы або паверхні камеры. Нап ру жанне паміж катодам і анодам дасягае нека лькіх тысяч В. Значным поспехам пры выкарыстанні катоднага рас пыленія з’явілася выкарыстанне плазмы, якая ўзбуджаецца з дапамогай нагрэтага катода з прыкладаннем напружанняў парадку некалькіх сотняў В. Тэхналогію выкарыстоўваюць пе раваж на для ат ры ман ня тон кіх плёнак ма тэ ры я лаў. Асноў най яе КАРУСЕЛЬНЫЕ ПЕЧИ – печи с вращающимся подом или сводом. Могут работать на любом виде топлива. К их достоинствам относятся: возможность обработки деталей любой формы, высокие КПД и производительность, небольшой расход топлива и сравнительная простота обслуживания. К недостаткам следует отнести высокие капитальные затраты и сложность приводных механизмов. Используются для спекания и термообработки порошковых материалов и изделий. КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ – распыление материала за счет интенсивной бомбардировки ионами инертного газа. При этом ионы инертного газа, напр., аргона, обычно ускоряются в результате того, что образец, представляющий собой источник нужного материала, является катодом тлеющего разряда. Атомы и ионы, выбитые с поверхности такого катода, диффундируют через газовую среду и конденсируются в виде тонкой пленки или порошка на соответствующей подложке либо поверхности камеры. Напряжение между катодом и анодом достигает нескольких тысяч В. Значительным успехом при использовании катодного распыления явилось применение плазмы, возбуждаемой с помощью нагретого катода с приложением напряжений порядка нескольких сотен В. Технологию применяют преимущественно для получения тонких пленок