* Данный текст распознан в автоматическом режиме, поэтому может содержать ошибки
507 ВАКУУМИРОВАНИЕ 508 Для получения высокого вакуума широко исполь в центральной зоне насоса, где и происходит иониза зуются пароструйные масляные и ртутные диффузион ция откачиваемого газа, перемещающегося под дей ные насосы, принципиальное устройство которых по ствием электрич. поля к катодам и далее в форвзказано на рис. 7. Масло, находящееся в нижней ча сти насоса, подогревают электронагревателем 1. Образующиеся пары по паропроводам через зон тичные сопла со скоро Вход Выход стью, превышающей ско рость звука, непрерыв но истекают в вакуум Выход ную область, образуя Рис. 9. Усовершенствованный металлический ионный на сплошную конусную за сос: 1 — натекатель; 2 — боковые соленоиды; з — сужение весу. Эвакуируемый газ анода; 4 — средний соленоид; 5 — разрядная плазма. поступает через вход Рис. 6. Схема ротационно-зуб ное отверстие, увлекается куумный насос. Ионными насосами достигается ско чатого насоса. струями сопел и уносит рость откачки до 700 л/сек и предельное давление ся в область форвакуумного давления, откуда) до 10" мм рт. ст. удаляется в атмосферу масляным ротационным насо Таблица 2 сом. Паромасляные Скорость Конечное Мощность диффузионные насо Тип насоса откачки, давление, нагревателя, сы выполняются с л/сек мм рт. ст. кет различными скоростя ми откачки (от 10 до ММ-40А 40 1 * 10~ 0,45 десятков тысяч л/сек) 0,2 1 - 10"° ДМН-20 20 и давлениями (10 — 125 1 • ю-» 0,45 ЦВЛ-100 . . . . 10~ мм рт. ст.). В 1500 2,0 ЦВЛ-15М . . . . 1 • lO" качестве рабочих жид Н-1С 100 0,47 1 * ю-в костей, пары которых Н-5С 500 1,5 1 • ю-в используются в этих 2000 Н-2Т 2,5 1 . ю-в насосах, применяют 2,5 Н-5Т 4500 1 • ю-в органич. и кремний1 • ю-в 8000 3.5 Н-8Т органич. масла, слож ные эфиры фталевой Для получения сверхвысокого вакуума используют и себациновой к-т, электроабсорбционные насосы, принцип действия жидкие силоксаны и щ I Поступление к-рых состоит в создании при помощи парового ртуть; упругость па охлаждающей воды диффузионного насоса давления порядка 10~ — ров при 20° не долж Ю мм рт. ст., после чего насос отключается и даль на превышать 10 — нейшее улучшение вакуума в сосуде достигается 1 0 л ш рт. ст. Дан поглощением оставшихся газов путем ионизации их ные для нек-рых тиэлектрич. полем. Для создания сверхвысокого ва пароструйный диффуоиои- ° масляных диффу Рис. куума используется аппаратура из специального ный насос с отражателем: 1 — зионных насосов при стекла, из которой прогреванием до 400—500° удале нагреватель; 2 — паропровод; 3— ведены в табл. 2. входное отверстие; 4 — корпус; 5— ны газы. Затворы установки должны быть без смаз Для создания высо отражатель паров масла; в — вы ки, все соединения — спайными (металл-стекло). На ходное отверстие; 7 — сопло I ; 8— кого вакуума приме рис. 10 представлена схема для сверхвысокого ва сопло I I . няют также ионные куума, применяемая при получении очень чистых насосы, принцип дей ствия к-рых показан на простейшей схеме (рис. 8). В стеклянной трубке расположены два кольцевых 6 в е 8 8 7 е - 9 _8 п в выпускное отверстие (-)Н щ> (+)А Впусннов отверстие Рис. 8. Схема простейшего ионного насоса. электрода, между к-рыми создается электрич. поле. Трубка присоединена к форвакуумному насосу. Между электродами вследствие ударной ионизации электронами, ускоряемыми электрич. полем в напра влении к аноду (А), возникают положительные ионы, направляющиеся к катоду (К). Вследствие непре рывного перемещения ионов газа в сторону като да газ из вакуумной системы непрерывно откачи вается. Усовершенствованный металлич. ионный насос показан на рис. 9. В этом насосе с тремя соленоидами (2 боковых и 1 средний) газ поступает в середину насоса, откуда он распространяется в боко вые зоны. Под воздействием напряжения электрич. и магнитного полей электроны концентрируются Рис. 10. Схема установки для получения сверхвысокого вакуума: D — диффузионный насос; P и Р — мано метры; V — поглощающий манометр; K , К , К — за творы; V — резервуар с газом; V V — откачиваемые сосуды; XV — ловушка. t 2 t 2 3 u 2 газов. При помощи диффузионного насоса создается вакуум; одновременно удаляют газы прогреванием установки, а также бомбардировкой электродов в мано метрах Р И Р И особенно в поглощающем манометре Р. После этого закрывается затвор и напряжение подается на манометр, к-рый начинает теперь дейст вовать как поглотитель. Через 5—15 часов создается вакуум порядка 10~ —10" мм рт. ст. х 2 10 11 Измерение в а к у у м а производится с помощью манометров. Давления от 760 до 20 мм рт. ст. измеряются